Приборы серии XDV-μ предназначены для точных измерений толщины покрытия и анализа материалов, нанесенных на сверхчувствительные структуры. Все устройства оснащены поликапиллярной оптикой, позволяющей фокусировать пучок рентгеновских лучей, создавая измерительную точку (fwhm) диаметром всего от 10 до 60 мкм. Высокая мощность сфокусированного излучения сокращает длительность измерений. Помимо универсальных измерительных приборов серии XDV-μ, также существуют специальные приборы для применения в области электроники и полупроводников. Например, модель XDV-μ LD оптимизирована для измерения толщины покрытий на печатных платах, а модель XDV-μ Wafer предназначена для применения в высокочистых помещениях.
Измерение толщины покрытия:
Анализ материалов:
Диапазон элементов | от Al (13) до U (92), до 24 элементов одновременно |
---|---|
Рентгеновский источник | стандартно: микрофокусная трубка с вольфрамовой мишенью и бериллиевым окном; опционально: микрофокусная трубка с молибденовой мишенью и бериллиевым окном |
Напряжение | 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ |
Первичный фильтр | 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра |
Область измерения | Ø 20 мкм |
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки | фиксированное, около 4 – 5 мм |
Рентгеновский детектор | кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2 |
Область размещения образца | 370×320 мм |
Максимальная масса образца | 5 кг / 20 кг |
Максимальная высота образца | 135 мм |
Перемещение опоры по оси XY | 250×220 мм |
Перемещение опоры по оси Z | 140 мм |
Скорость перемещения опоры | 60 мм/сек |
Масштабирование | до 1080x (оптический зум: 30x, 90x, 270x; цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x) |
Габариты | 660×835×720 мм |
Масса | 135 кг |
Диапазон элементов | от S (16) до U (92), до 24 элементов одновременно |
---|---|
Рентгеновский источник | стандартно: микрофокусная трубка с вольфрамовой мишенью и бериллиевым окном; опционально: микрофокусная трубка с молибденовой мишенью и бериллиевым окном |
Напряжение | 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ |
Первичный фильтр | 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра |
Область измерения | Ø 60 мкм |
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки | фиксированное, около 14 мм; мин. 12 мм |
Рентгеновский детектор | кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2 |
Область размещения образца | 370×320 мм |
Максимальная масса образца | 5 кг / 20 кг |
Максимальная высота образца | 135 мм |
Перемещение опоры по оси XY | 250×220 мм |
Перемещение опоры по оси Z | 140 мм |
Скорость перемещения опоры | 60 мм/сек |
Масштабирование | до 1080x (оптический зум: 30x, 90x, 270x; цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x) |
Габариты | 660×835×720 мм |
Масса | 135 кг |
Диапазон элементов | от Al (13) до U (92), до 24 элементов одновременно |
---|---|
Рентгеновский источник | стандартно: микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном; опционально: микрофокусная трубка с молибденовой мишенью и бериллиевым окном |
Напряжение | 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ |
Первичный фильтр | 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра |
Область измерения | Ø 20 мкм |
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки | фиксированное, около 4 – 5 мм |
Рентгеновский детектор | кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2 |
Область размещения образца | 600×600 мм |
Максимальная масса образца | 5 кг |
Максимальная высота образца | 10 мм |
Перемещение опоры по оси XY | 450×300 мм |
Скорость перемещения опоры | 60 мм/сек |
Проекция контрастной сетки на поверхность образца | есть |
Масштабирование | цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x |
Габариты | 670×885×660 мм |
Масса | 156 кг |
Диапазон элементов | от Al (13) до U (92), до 24 элементов одновременно |
---|---|
Рентгеновский источник | стандартно: микрофокусная трубка с анодом из молибдена и бериллиевым окном; опционально: микрофокусная трубка с анодом из вольфрама и бериллиевым окном |
Напряжение | 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ |
Первичный фильтр | 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра |
Область измерения | Ø 20 мкм |
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки | фиксированное, около 4 – 5 мм |
Рентгеновский детектор | кремниевый дрейфовый детектор, эффективная область 20 мм2 |
Диаметр пластины | 150 мм, 200 мм, 300 мм |
Максимальная масса образца | 5 кг |
Максимальная высота образца | 3 мм |
Перемещение опоры по оси XY | 450×300 мм |
Скорость перемещения опоры | 60 мм/сек |
Проекция контрастной сетки на поверхность образца | есть |
Масштабирование | цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x |
Габариты | 680×900×690 мм |
Масса | 130 кг |
Диапазон элементов | от Na (11) до U (92), до 24 элементов одновременно |
---|---|
Рентгеновский источник | высокомощная трубка с бериллиевым окном |
Напряжение | 10 кВ, 20 кВ, 50 кВ |
Первичный фильтр | 4 сменных: Ni 10 мкм, Al 1000 мкм, Al 500 мкм, без фильтра |
Область измерения | Ø 50 мкм |
Расстояние от поверхности образца до нижнего края измерительной головки | фиксированное, около 1,5 – 2 мм |
Рентгеновский детектор | кремниевый дрейфовый детектор |
Область размещения образца | 370×320 мм |
Максимальная масса образца | 5 кг / 20 кг |
Максимальная высота образца | 135 мм |
Перемещение опоры по оси XY | 250×220 мм |
Перемещение опоры по оси Z | 140 мм |
Скорость перемещения опоры | 60 мм/сек |
Масштабирование | до 1080x (оптический зум: 30x, 90x, 270x; цифровой зум: 1x, 2x, 3x, 4x) |
Габариты | 660×835×720 мм |
Масса | 135 кг |
Оформить покупку в интернет-магазине. Вам необходимо добавить продукцию в электронную корзину, заполнить короткую заявку и отправить её нам.
Обратится к специалистам «А3 Инжиниринг». Написать на электронную почту, в WhatsApp, или позвонить по номеру телефона. Указать какая товарная позиция вас интересует, а также количество единиц, и получить счет на оплату.
Посетить наш офис, где можно протестировать продукцию, а после оформить заказ.
Наша компания работает с надёжными курьерскими службами, ответственными транспортными компаниями, что позволяет организовать обслуживание клиентов на высшем уровне. Доставка осуществляется по всей территории РФ, Казахстана и Беларуси.
Вы сами выбираете подходящую компанию для получения товара − «Деловые линии», ПЭК, СДЭК «СПСР-экспресс», DHL, «Курьер Сервис», «Грузовозофф». Стоимость доставки зависит от удалённости пункта назначения от нашего склада.
Пункт выдачи СДЕК в г. Москва: Нагорный проезд д.7 стр. 1.
Мы принимаем оплату безналичным способом. Вам необходимо осуществить перевод средств на расчётный счёт нашей компании. Все документы будут подготовлены максимально быстро − за 60-90 минут.
Вместе с продукцией вы получаете:
Также к товару прилагаются официальные документы − инструкция, гарантийный талон, свидетельство о калибровке или поверке, если эти процедуры проводились. Узнать больше можно, позвонив нам по номеру +7 (800) 500-59-46.